Состоялась торжественная церемония открытия Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) — как полноценного комплекса разработки и производства изделий наноэлектроники и микросистемной техники, а также площадки для развития технологических стартапов. Символическую «красную кнопку» запуска, изготовленную на 3D-принтере одного из старапов наноцентра, нажали Анатолий Чубайс, председатель правления РОСНАНО, и Анатолий Ковалёв, генеральный директор ЗНТЦ. В этот же день в наноцентре заработала технологическая линия производства чипов топологического уровня 0,35-0,25 микрон.

Зеленоградский наноцентр стал пятым в сети российских наноцентров, запущенных корпорацией РОСНАНО за этот год. Как считает Анатолий Чубайс, он займёт в этой сети особое место. «Мы прекрасно понимаем, что Зеленоград — это микроэлектронный кластер, это МИЭТ с его опытом коммерциализации результатов научных разработок, это технико-внедренческая зона, которая сейчас начинает прорастать конкретными результатами. Зеленоградский наноцентр должен стать „мастерской инноваций“, и у него уже есть первые результаты его работы, стартапы, которые будут здесь расти, уже есть сотрудничество с отраслью микроэлектроники», — заявил глава РОСНАНО на торжественной церемонии открытия наноцентра.

Зеленоградский нанотехнологический центр создан в 2010 году как площадка для развития технологических стартапов и технологический комплекс разработки и производства изделий наноэлектроники и микросистемной техники. Общий бюджет проекта составил 2 миллиард рублей — 1,1 миллиард вложен со стороны РОСНАНО, также партнерами и инвесторами проекта выступили Зеленоградский инновационно-технологический центр (ЗИТЦ) и МИЭТ.

Выступая на открытии наноцентра, генеральный директор ЗИТЦ Владимир Беспалов отметил, что Зеленоградский наноцентр появился в результате 15-летнего развития инновационной технологической инфраструктуры вокруг МИЭТа, начавшегося с создания ЗИТЦ в 1998 году. Процесс шёл при активном содействии Минобрнауки, частных зеленоградских компаний и стратегических партнёров МИЭТа, инвестиционных и венчурных фондов, РОСНАНО и холдинга «Росэлектроника».

Сегодня производственная инфраструктура наноцентра включает полный цикл проектирования и производства наноэлектроники и микросистемной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле) на современном оборудовании. Действует линия сборки и тестирования функциональных и электрических параметров изделий. В портфеле ЗНТЦ 16 запущенных стартапов, на стадии рассмотрения еще более 20 проектов — в области электроники, чистых технологий (энергосбережение, альтернативная энергетика) и биотехнологий. Общий объем собственных и привлеченных инвестиций в технологические проекты на ранних стадиях в 2012—2013 году превысил 200 миллионов рублей, по данным РОСНАНО.

Руководство РОСНАНО подчеркнуло, что следующей задачей Зеленоградского наноцентра станет достижение серьёзных целевых цифр KPI по количеству стратапов, их доходности и многим другим показателям. Приток стартапов, по планам, должен обеспечить МИЭТ и весь Зеленоград, а дальнейшее их развитие — крупные предприятия электронной отрасли, в том числе «Микрон», где РОСНАНО участвовало в создании серийного производства микросхем 90нм.

«В Зеленограде приятное впечатление производит работа команды наноцентра, которая активно движется в части инженерии, оборудования и создания направлений развития. — Отметил Андрей Свинаренко, генеральный директор Фонда инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) РОСНАНО. — Для нас важно, что сегодня на открытии присутствуют несколько профильных предприятий, которые, возможно, станут для наноцентра партнёрами. Одна из целей инфраструктурной программы РОСНАНО состоит именно в том, чтобы создавать площадки, которые могут быть полезными для развития промышленности и эффективного сотрудничества».

Поддержку стартапам наноцентра готов оказывать Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере, хорошо известный зеленоградцам как Фонд Бортника, давнишний стратегический партнёр МИЭТа. Сейчас многие команды разработчиков в ЗНТЦ уже получают его гранты, а в ближайшем будущем спектр программ фонда будет расширен.

«Для вас сейчас самое важное найти стартапы, которые будут возникать вокруг наноцентра. — Сергей Поляков, генеральный директор фонда. — А наша первая задача — выращивать новых лидеров высокотехнологичного бизнеса в России. Надеюсь, что, с учетом выделения средств в рамках госпрограммы поддержки малого бизнеса, у нас в следующем году появятся новые формы поддержки — в частности, поддержка зарубежного патентования для разработок мирового уровня, которым это необходимо. Мы рассчитываем, что в первую очередь этой поддержкой воспользуются стартапы наноцентра. Сейчас мы проводим для них очередной конкурс — надеюсь, будем успевать за темпами роста их количества, которые предполагает РОСНАНО. Скоро запустим и программу кооперации, на которую уже пришли три заявки от компаний ЗНТЦ. Это программа поддержки проектов, которые выполняют малые предприятия в интересах крупного бизнеса, обладающие реальным рынком и формирующие задачи, которые можно решить силами небольших фирм».

В государственных структурах науки и образования работу ЗНТЦ считают успешной и необходимой. Минобрнауки со своей стороны продолжит поддерживать Зеленоградский наноцентр заказами на научные исследования, чтобы обеспечить загрузку и доходы его технологическую инфраструктуру. За последние восемь лет министерство вложило более 4 милиардов рублей в создание на базе МИЭТа нанотехнологической индустрии — центров коллективного пользования, научно-образовательных центров и наноцентра, а также в развитие МИЭТа как национального исследовательского университета.

«Создана мощнейшая технологическая инфраструктура — важно загрузить её, в том числе коммерческими заказами. А министерство, как может, загружает её научными исследованиями и подготовкой кадров, что предусмотрено в федеральных целевых программах с финансированием порядка 1 миллиарда рублей по направлению нанотехнологий. — Сообщил Алексей Сёмин, начальник отдела Департамента развития приоритетных направлений науки и технологий Минобрнауки. — Сейчас планируется создание федеральных центров коллективного пользования, уже формируются их задачи. Считаю целесообразным для МИЭТа и ЗНТЦ принять участие в этом процессе».

Демонстрируют заинтересованность в использовании производственных мощностей наноцентра и зеленоградские предприятия, которые уже начали переводить туда заказное изготовление чипов. «Наша компания разрабатывает сложные микросхемы, и последние 15 лет мы их делали за рубежом, а буквально два года назад вернулись на российское производство и на свой страх и риск решили оставить в Зеленограде несколько работ. — Рассказал Ярослав Петричкович, президент группы компаний „Элвис“. — Мы отработали с технологической линейкой „Микрона“, а другой очень важный компонент — корпусирование больших сложных многовыводных микросхем и их тестирование было — произведено в Зеленоградском наноцентре. Причем мы делали не просто опытные образцы, все эти ОКРы с блеском закончились реальными продуктами, их принимали практически все космические компании, для которых это была некая диковинка — локализация в России всего производства по одному проекту. И огромную роль в этом сыграли специалисты Зеленоградского наноцентра. Сейчас у нас намечается большая программа сотрудничества».

Производство: полный цикл и планы на «Протоне»

Зеленоградский наноцентр задуман и построен как комплексная инфраструктура полного цикла: от научных исследований и проектирования до производства и испытаний. Здесь можно провести экспертизу проектов фундаментальной и прикладной науки, получить компетенции по привлечению в проекты международных партнеров и заказчиков, воспользоваться услугами современного производственного комплекса, ориентированного на выпуск микросхем микроэлектромеханических систем (МЭМС), интеллектуальных датчиков и других микроэлектронных изделий. Фотоэкскурсия Zelenograd.ru

В основу производства наноцентра легла технологическая линейка изготовления МЭМС, которая была создана МИЭТом в рамках ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии». Сегодня университет использует её для проведения разработок и обучения студентов, а наноцентр — в деятельности своих стартапов и для выполнения заказных работ. Из 1100 квадратных метров производственных помещений ЗНТЦ почти половина приходится на чистые комнаты. В оснащении использовано зарубежное оборудование от мировых лидеров в микроэлектронике и ряд отечественных установок, заключены долгосрочные контракты с поставщиками материалов.

«За последний год у нас разработана серия МЭМС для автоэлектроники, мы уже проводим их испытания и готовим опытную партию для поставки калужской „Автоэлектронике“. Изготавливаться они будут на линии наноцентра. — Рассказывает Анатолий Ковалёв, генеральный директор Зеленоградского наноцентра. — Наш собственный дизайн-центр специализируется в области разработки систем обработки сигналов датчиков, от резистивных до магнитных. Большая часть схем запатентована, топология их от 0,8 микрон до 180нм — последние мы рассчитываем начать делать на зеленоградском „Микроне“, а от 0,35 микрон и больше будем изготавливать на собственном производстве. Уже действует и центр сборки нано- и микросистемной техники, он вышел на определённый уровень окупаемости, есть постоянные заказчики, производительность — до 10 тысяч изделий в месяц. Там стоит уникальное оборудование для тестирования и контроля функционирования изделий при разных температурах».

С 2012 года ЗНТЦ сотрудничает с холдингом «Росэлектроника». Совместные работы идут по оснащению центра изготовления 3D-микросхем с применением современной технологии TSV — уже начались первые этапы поставки оборудования и стажировка специалистов в институте Fraunhofer (Германия), есть договоренность и с институтом ITRI (Тайвань), который специализируется в этом направлении. Другой совместный проект — развитие на зеленоградском заводе «Протон» производства изделий по КМОП-технологии, смежной с технологией 0,35-0,25 микрон. На «Протоне» уже строятся чистые помещения, производство чипов мощностью до 1000 пластин в месяц будет реализовано на пластинах диаметром 150 мм и 200 мм.

Опыт, полученный при строительстве собственных производственных линеек и чистых комнат, привёл наноцентр к идее создать отдельный инжиниринговый бизнес со специализацией в микроэлектронике и 3D TSV технологиях. По словам Анатолия Ковалёва, ЗНТЦ собирается поучаствовать с этим проектом в программах развития зеленоградского инновационного территориального кластера — создание этой инжиниринговой компании сейчас обсуждается с Корпорацией развития Зеленограда и Правительством Москвы.

«На сегодняшний день ЗНТЦ решило задачи данного этапа. — Констатирует Анатолий Ковалёв. — Это запуск полного цикла производства, включая кристальное производство, запущенное сегодня, и линии сборки и корпусирования микросхем; участие в НИОКРах для создания материального обеспечения деятельности ЗНТЦ. На 2014—2015 годы вектор развития ясен: мы должны сделать свой технологический производственный комплекс центром прибыли, а значит, загрузить гермозону и вывести её на окупаемость. Кроме того, мы предполагаем очень серьёзную интеграцию в глобальные международные проекты, в частности, с институтами Fraunhofer и ITRI в области биотехнологий — уже идут переговоры».

Около 20 миллионов рублей наноцентр инвестировал в создание био-лабораторий и линейки специального оборудования, которую рассчитывает пополнять и дальше ради расширения спектра исследований и стартапов.

Стартапы: погрузиться в биотехнологии и выйти из 3D-принтеров

Весной 2013 Зеленоградский наноцентр объявил о диверсификации своих направлений деятельности — в их число, помимо микроэлектроники вошли биотехнологии, чистые технологии (GreenTech), новые материалы и технологии. Сейчас эти направления в ЗТЦ представлены несколькими компаниями, часть из них — совершенно новые проекты, некоторые еще ждут своей оценки и регистрации.

Всего на сегодняшний день в ЗНТЦ зарегистрировано 16 стартапов. 10 проектов — это команды из МИЭТа или разработки МИЭТа, с прямым участием университета в капитале компании путем передачи ей интеллектуальной собственности. Наноцентр уже вложил в эти компании в общей сложности около 15 миллионов рублей, остальные источники финансирования у всех разные: 50 миллионов рублей привлечены в виде грантов от разных институтов развития, которые работают с ЗНТЦ. С нынешнего года наноцентр интегрирует ряд проектов резидентов Сколково. А действующие стартапы, которые участвуют в выполнении НИОКРов наноцентра, уже начали приносить доход, который составил около 14 миллионов рублей.

В будущем наноцентр стремится перевести количество стартапов в качество и выйти из капитала ряда компаний через 2-3 года. По словам Анатолия Ковалёва, «первенцем» может стать НПП ИИС — разработчик 3D-принтеров: «Мы рассчитываем в следующем году выйти из проекта с хорошим результатом. Это перспективная компания, её специалисты — выпускники МИЭТ, у них на данный момент продано порядка 150 принтеров разных модификаций. Сейчас туда пришла новая очень амбициозная команда, они рассчитывают занять серьезную долю этого рынка», — отмечает он.