Создать совместный технологический центр, который станет основой для широкого применения в России японских мини-заводов Minimal Fab по выпуску чипов, прежде всего для научных исследований и разработок, а для начала — провести стажировки специалистов и организовать курс лекций о Minimal Fab для студентов планируют в МИЭТе.

Технология Minimal Fab позволяет на площади в несколько десятков квадратных метров реализовать полноценное производство микроэлектроники уровня 0,5-0,35 микрона на пластинах диаметром 2,5 дюйма без необходимости использования чистых помещений.

«Эта технология как раз подходит для таких университетских комплексов, как наш, осуществляющих подготовку кадров в области микро- и наноэлектроники. — Рассказал журналистам ректор МИЭТа Владимир Беспалов в ходе пресс-тура, прошедшего в МИЭТе 23 декабря. — Мы надеемся эту технологию всячески развивать и надеемся, что первый такой комплекс окажется на нашей открытой технологической площадке, которая создаст условия для развития приборостроения и построения технологического оборудования уже с участием наших компаний, в том числе малых, которые ведут подобные разработки».

По словам Беспалова, Minimal Fab станет логичным дополнением центров коллективного пользования (ЦКП), которые созданы и работают вокруг МИЭТа, позволяя проводить исследования и оказывая услуги по изготовлению отдельных элементов электронных устройств — от проектирования и выпуска интегральных микросхем и печатных плат до создания законченных узлов аппаратуры.

Роль МИЭТа и предприятий кластера Зеленограда на первом этапе сотрудничества будет состоять в создании технологического центра, который будет обеспечивать распространение технологии Minimal Fab в России: в первую очередь, в научных центрах, а затем и в промышленных компаний.

«Технология новая и нуждается в такой поддержке, — пояснил Владимир Беспалов. — Надеемся уже в следующем году организовать с японскими партнёрами такой технологический центр, который станет основой для широкого применения Minimal Fab в разных областях».

Дорожная карта по созданию совместного центра включает несколько последовательных этапов: в частности, обучение в Японии зеленоградских специалистов и их стажировки, которые могут продлиться до нескольких месяцев, затем визит в Зеленоград разработчиков и производителей Minimal Fab для обсуждения всех деталей создания совместного центра.

Весной следующего года в МИЭТе планируют организовать курс лекций для студентов по технологии Minimal Fab от специалистов AIST — японского Национального института передовых индустриальных наук и технологий, в котором и был разработан стандарт Minimal Fab. Сейчас зеленоградский вуз готовит приглашения для специалистов AIST с предложением о проведении лектория.

Еще одной формой сотрудничества могут стать совместные научные или интеграционные проекты с использованием ноу-хау зеленоградских компаний. Так, на переговорах в Японии уже обсуждалась возможность встраивания в некоторые этапы линии Minimal Fab оборудования зеленоградской компании НТ-МДТ — сканирующих зондовых микроскопов для контроля качества и оценки обрабатываемой поверхности. Поле для общих научных исследований — это, например, применение новых материалов микроэлектроники, которые пока не освоены для выпуска чипов на Minimal Fab. Изучить и проверить эти возможности тоже могут в Зеленограде.

В МИЭТе оценивают новые возможности, которые сулит Minimal Fab, как неоценимую помощь ученым: можно будет не отрабатывать изучаемый процесс неделями, тратя много времени на изготовление прототипа какой-то электронной разработки, а сделать это всего за несколько часов. А производители смогут изготовить небольшую партию новых устройств под запросы рынка, не прибегая к услугам микроэлектронных заводов-гигантов.

Одна из главных проблем разработчиков биомедицинской микроэлектроники состоит в том, что мощности существующих фабрик по выпуску чипов слишком большие, а пациентов не так много, поэтому производить новейшие медицинские устройства невыгодно и затратно. Пример — разработка кафедры Биомедицинских систем (БМС) МИЭТ: кардионасос, первая отечественная система вспомогательного кровообращения «Спутник», которую с 2012 года имплантировали сотням больных, ожидающим операции на сердце. Сотням — но не миллионам, и спрос тут ограничивается не столько рынком, сколько квотами государства на подобные имплантации.

Отечественным разработчикам сложно конкурировать с крупными американскими компаниями, которые поставляют свои устройства на весь мир, в том числе на российский рынок. «Что же делать?» — задаётся вопросом профессор Сергей Селищев, завкафедрой БМС МИЭТ.

«Мы можем создавать биомедицинские системы всё меньше и меньше по размеру, используя технологии микроэлектроники, чтобы они могли имплантироваться в тело человека. В 2015 году МИЭТ выиграл конкурс Минобрнауки с проектом по миниатюризации имплантируемых осевых сердечных насосов для педиатрической кардиохирургии. Наше поле — развитие рынка имплантируемых электронных систем в России, но мы в Зеленограде сейчас не можем производить такие системы», — сетует учёный.

Мини-фабрика для производства чипов Minimal Fab, по его мнению, станет отличным выходом из ситуации: для неё нужны в 1000 раз меньшие инвестиции, она предназначена именно для проведения исследований, прототипирования, мелкосерийного и серийного производства.

«Характерные размеры нашего медицинского изделия — 0,5-1 см, меньше батарейки. И такая линейка идеально подходит для производства в России опытных экспериментальных образцов имплантируемых электронных насосов», — утверждает Селищев.

Приобретать всю линию оборудования Minimal Fab МИЭТу может и не понадобится, считают в вузе — достаточно будет перенести в Зеленоград ряд технологических процессов, которые Minimal Fab позволяет сделать за 20 минут, а имеющиеся у вуза установки — за два дня, причем гораздо дороже, учитывая необходимость содержать чистые комнаты и всю технологическую инфраструктуру с подачей химических сред, газов и воды. Заменить конкретные этапы оборудованием из Minimal Fab, которое можно поставить в обычном помещении, и оно будет работать — одна из целей МИЭТа.

Другая цель — привести Minimal Fab вообще на российский рынок и начать сопровождение её в России.