Технологическая линия Minimal FAB для производства микроэлектронных компонентов, позволяющий выпускать их небольшими партиями на пластинах диаметром около 12 мм, может появиться в Зеленограде в результате соглашения о сотрудничестве между компаниями Зеленограда и Японии — его подписали МИЭТ, Корпорация развития Зеленограда, Yokogawa Solution Service Corporation и Tokyo Boeki Group. Соглашение предусматривает научную и технологическую кооперацию исключительно в мирных целях, как сообщает пресс-служба зеленоградского инновационного кластера.
«Стороны рассматривают возможность создания совместного научно-исследовательского центра с целью проведения демонстраций, обучения, консалтинга по теме технологии и оборудования minimal FAB, а также проведения совместных научных исследований в области разработки базовых технологий и процессов с использованием minimal FAB», говорится в сообщении кластера.
Производить планируют микросхемы и продукцию для следующих областей: био-медицина, автомобильная индустрия, датчики и детекторы для промышленного применения и применения в качестве комплектующих, прочие гражданские применения. Minimal Fab позволяет использовать для этого компактную и экономичную линию изготовления чипов, способную заменить масштабный дорогостоящий Fab на мелких партиях и практически штучном производстве.
Японская Ассоциация развития Minimal Fab занимается созданием новых компактных производственных линий для полупроводниковой промышленности, ориентированных на производство небольших партий электронных компонентов на пластинах диаметром 0,5 дюйма. Чтобы отказаться от чистых комнат, в Minimal Fab используется транспортный контейнер Minimal Shuttle, обеспечивающий особо чистую минисреду.
Благодаря этому стоимость оборудования сокращена почти в тысячу раз по сравнению с обычным микроэлектронным производством: Minimal Fab стоит 12,5 миллионов долларов, при этом стоимость одной собственно производственной линии — всего 5 миллионов долларов, как сообщал журнал «Электронные компоненты» №3/2015.
Линия из 55 установок обеспечивает мелкосерийное производство пластин, датчиков и схем, используемых в электронных приборах, включая телефоны, планшетные ПК, кондиционеры и стиральные машины. Пластины нестандартного диаметра в Minimal Fab делают из стандартных пластин 200 мм, для этого предусмотрено несколько специальных установок. Используются компактные устройства обработки пластин шириной всего 30 см.
«Первая презентация и демонстрация новой линии Minimal Fab в 2013 году на симпозиуме в Японии не смогла вместить и половины желающих ознакомиться с ней. А прямо на выставке Semicon Japan-2014 за два дня без всяких чистых комнат компания развернула линию из 25 установок для полного цикла изготовления КмОп. Уже сейчас на линии реализована технология 0,8 мкм, а в ближайшие годы она будет снижена до 22 нм», — писал журнал.
На прошедшем недавно форуме Semicon Japan (Токио) делегация Зеленограда посетила семинар, представляющий возможности MinimalFab для проведения исследований, прототипирования, мелкосерийного и серийного производства, и познакомилась с опытной промышленной линией MinimalFab.
Заинтересован в трансферте технологии Зеленоградский наноцентр, который не только ведёт исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники, но и оказывает услуги по контрактному производству микроэлектроники, а также предоставляет возможность реализации отдельных технологических операций. «Интеграция технологических компетенций позволяет осуществить полный цикл производства, начиная от разработки изделий микроэлектроники и МЭМС до изготовления кристаллов на пластине, корпусирования и испытаний», сообщается в пресс-релизе кластера.
А МИЭТ и его инновационный комплекс, расположенный на площадке ОЭЗ «Зеленоград» — подходящее место для реализации такого проекта с экономически привлекательными условиями для коммерциализации научных разработок.
Компания Yokogawa в четырёхстороннем соглашении, подписанном на международной выставке Semicon Japan, выступает в роли коммерческого представителя Minimal FAB по трансферу технологий в Россию для оснащения учебных лабораторий вузов и научно-исследовательских подразделений промышленных предприятий, сообщает зеленоградская префектура.
Кстати, в Зеленограде действует монтажно-сборочное производство некоторого оборудования Yokogawa для автоматизированных систем управления технологическим процессом (АСУТП), как утверждает портал rccnews.ru. С 2011 года открыт и центр оперативной поддержки заказчиков (Response Center) в ТЦ «Иокогава Электрик СНГ» в Зеленограде (на бывшем заводе «Квант» — 4-й Западный проезд, Северная промзона), который поддерживает продукты и системы Yokogawa в России и СНГ.
В октябре 2015 года в сообществе отечественной полупроводниковой индустрии активно обсуждалась новость о том, что соглашение с Minimal Fab заключил Вьетнам — он стал первой страной, которая в течение трёх лет получит (для Saigon Hi-tech Park) доступ к новой технологии Minimal Fab, разработанной в 2012 году, а также поддержку в её освоении и обучении персонала от Japanese Minimal Fab Development Association. Minimal Fab во Вьтнаме планируют использовать как производство для мелких и средних вьетнамских предприятий, развивая национальную промышленность.
«Вьетнам медленно, но верно идет к реализации программы по развитию своей микроэлектроники», — отмечали в треде конференции ixbt.com «Когда у нас появится своя 0.0…мкм фабрика?«
"Минифабрики — путь к импортонезависимости России в области ЭКБ», — статью с таким заголовком «Электронные компоненты» опубликовали год спустя, в марте 2016 года. «Они же — выход мировой радиоэлектроники из тупика «монструозности» мегафабрик», говорилось в подзаголовке. Редакция проанализировала примеры создания минифабрик в США и в Японии и тенденции, которые ведут к их активному продвижению на мировом рынке.
«Мы полагаем, что через 7- 10 лет, если не раньше, наряду с весьма малым количеством (4-5 или менее) высокопроизводительных мегафабрик, работающих на пластинах диаметром 300 и 400 мм, возникнет значительное количество (сначала 10-15 и далее до нескольких сотен) минифабрик, обслуживающих многие тысячи малых и средних дизайн-центров гражданской и военной направленности», — такой вывод сделали авторы публикации.
По мнению одного из зеленоградских экспертов в области микроэлектроники, восторги относительно новой технологии выглядят несколько преждевременными: «Пока минимальный уровень технологии Minimal Fab — около 1 мкм. Наверное, на этой линейке можно делать образцы МЭМС, но выпускать КМОП схемы нормального уровня не получится, — поделился собеседник Zelenograd.ru. — Она может быть полезна для образовательных целей и обучения студентов. Кроме линейки во Вьетнаме Minimal Fab пока больше нигде нет — что-то не находится желающих вставать за ней в очередь. Японцы пытаются догнать убегающий поезд микроэлектроники, так как проиграли гонку Китаю и Тайваню».