Зеленоградский университет МИЭТ стал победителем конкурса на предоставление грантов в форме субсидий из федерального бюджета на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019—2027 годы.

Для работы над проектом можно будет задействовать и зеленоградский синхротрон, как только он будет готов к работе, уточнили для «Зеленоград.ру» в МИЭТе.

В число грантополучателей вошел проект по разработке технологических и фундаментальных основ безмасочной рентгеновской нанолитографии с применением источника синхротронного излучения для создания элементной базы наноэлектроники с проектными нормами на уровне 20 нм и ниже. Проект подготовлен коллективом ЦКП «Микросистемная техника и электронная компонентная база».

На реализацию проекта МИЭТ получит 302 миллиона рублей в ближайшие три года: 85 миллионов в 2021 году, 107 миллионов в 2022-м и 110 миллионов в 2023-м.

Как пояснил проректор МИЭТ по научной работе Сергей Гаврилов, речь идёт о новой, не имеющей мировых аналогов концепции создания ЭКБ с топологическими размерами вплоть до уровня 10 нм. Ключевой элемент такого литографического процесса — «электронная» маска, обеспечивающая динамическое изменение топологии шаблона по заданному закону.

«В ходе текущих работ миэтовцы создают апробированную концепцию литографа и прототип динамической маски для формирования суб-20 нм структур на базе синхротронного излучения — это главный результат проекта», — рассказал Сергей Гаврилов.

Основными участниками и партнерами МИЭТа в рамках проекта станут Курчатовский институт и Институт прикладной физики РАН.

На вопрос о том, будет ли в ходе проекта задействован зеленоградский синхротрон, проректор МИЭТа ответил: «Когда зеленоградский синхротрон будет запущен, на его базе МИЭТ готов совместно со специалистами НИЦ „Курчатовский институт“ и Институтом прикладной физики РАН создавать литографическую экспериментальную станцию и использовать научные результаты своего проекта, поддержанного грантом Минобрнауки».

Особое внимание в МИЭТе уделят подготовке научных кадров: более 80 человек пройдут обучение по дополнительным профессиональным программам, в частности, новой программе «Синхротронное излучение в исследовании материалов и технологии микроэлектроники».

«Предполагается приглашение молодых специалистов, работающих на европейских источниках, для совместной научной, образовательной и просветительской деятельности. Также запланированы визиты исполнителей проекта на отечественные и европейские источники синхротронного излучения в целях обмена опытом», — сообщает МИЭТ.

Синхротрон, который начали строить в Зеленограде в 1980-е годы, но так и не запустили целиком, расположен на Северной промзоне и входит в структуру зеленоградского НИИ Физических проблем. Год назад НИИФП стал частью Курчатовского института. Ранее правительство распорядилось перевезти зеленоградский синхротрон во Владивосток, на остров Русский, и использовать его там в рамках реализации программы развития синхротронных и нейтронных исследований, в которой Курчатовский институт является головной научной организацией. Однако в 2020 году стало известно, что синхротрон останется в Зеленограде, на базе НИИФП планируется создать центр перспективных технологий мирового уровня, а сам синхротрон — модернизировать.