Завод «Микрон» должен разработать автоматизированную установку измерения рассовмещения топологических слоёв на кремниевых пластинах. По техзаданию разрабатываемая система под шифром «Лучник» должна быть аналогом американской KLA Tencor Archer 10 XT (на фото). Стоимость контракта — 1,56 млрд рублей, завершить работы нужно к августу 2029 года.

Зачем это нужно: при производстве микросхем слои рисунка на пластине должны накладываться друг на друга с очень высокой точностью. Если один слой «съехал» относительно другого, растёт доля брака. Установка измеряет эти смещения по меткам, а данные используются для корректировки процесса.

Эксперты, на которых ссылается издание CNews, называют проект сложным — на стыке оптики, прецизионной механики, электроники и ПО. И отмечают сжатые сроки. Но подчёркивают важный плюс: у «Микрона» есть собственное производство, которое позволяет испытывать установку в реальных условиях.

В Зеленограде параллельно идут проекты по импортозамещению разных звеньев производственной цепочки микроэлектроники. Так, НИИМЭ и НИИТМ сделали кластерные системы для процессов плазмохимического осаждения и травления с общим объемом финансирования 2,5 млрд рублей. А у Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) есть готовый к серийному производству литограф «Прогресс СТП-350», который уже предлагается заказчикам по цене 400-560 млн рублей.