Главная страница » Статьи »

НИИМЭ "Микрон": запуск нового производства микросхем топологии 0,18 микрона

текст: Елена Панасенко.

ОАО "НИИ молекулярной электроники и завода "Микрон", головное предприятие дивизиона "Микроэлектронные компоненты" концерна "СИТРОНИКС" торжественно запустило 12 декабря новую производственную линию по выпуску микросхем топологического уровня 0,18 микрона. Красную ленточку на новом предприятии перерезали генеральный директор "Микрона" Геннадий Красников и первый вице-премьер правительства РФ Сергей Иванов. Среди гостей присутствовали также представители аппарата вице-премьера и представители французского посольства, чья компания - ST Microelectronics - выдала лицензию на новую технологию "Микрону".

Соглашение с ST Microelectronics (Франция) было подписано в июле 2006 года. В течение года в развитие микроэлектронного производства в Зеленограде было инвестировано более 300 млн.долларов - в покупку и установку оборудования, перестройку старых производственных площадей, создание "Чистой комнаты", привлечение и обучение инженеров и т.д. "Микрон" приобрел и установил 238 единиц оборудования, поставки которого обеспечили более 40 компаний разных стран мира. В проекте занят лучший инженерный состав "Микрона", привлечены инженеры из регионов и даже из-за рубежа - из числа уехавших в свое время в США, Германию, Сингапур высококлассных специалистов. 120 российских инженеров, работающих на производстве, прошли стажировку на западных микроэлектронных фабриках. Надежды "Микрона" направлены также в сторону обучения кадров, для чего "Микрон" активно сотрудничает с МГУ, МВТУ им.Баумана, МИФИ и МИЭТом, в котором у предприятия есть собственная кафедра.


Как сказал Сергей Иванов, сочетание научных кадров и производственной базы позволяет твердо рассчитывать на то, что Зеленоград останется центром российской микроэлектроники.

- "Микрон" сделал очень хороший проект. Скачок от топологий 0,8-1,2 микрона сразу на уровень 0,18 микрона - это очень существенно. Предприятие вышло на современный, мировой технологический уровень для гражданской микроэлектроники. Сейчас "Микрон" - ведущий экспортер электронной продукции в России, на него приходится 70% всего российского экспорта электроники. В составе "СИТРОНИКС" его акции давно котируются на фондовой бирже, как у очень немногих российских предприятий, конкурируя со многими предприятиями аналогичного профиля других стран мира. В ближайшее время "Микрон" планирует начать выпускать микросхемы в 0,13-0,09 микрона, то есть фактически приблизиться к нанотехнологиям. Все это позволяет нам рассчитывать на качественный рывок в развитии российской микроэлектронной промышленности.

Сергей Иванов рассказал, что для осуществления этого проекта "СИТРОНИКС" инвестировал в него сумму в 300 млн.долларов. Государство на начальной стадии проекта вложило в него около 300 млн.руб в рамках федеральной целевой программы "Развитие электронной компонентной базы". На бюджетные деньги также была куплена часть оборудования. Участвовало и правительство Москвы - с облегчением нагрузки на инфраструктуру, льготным выделением земель и т.д.

- Это хороший пример частно-государственного сотрудничества, где доля государства мизерная, а доля частного бизнеса очень велика. - отметил Сергей Иванов. - При этом государство дало определенные толчок и создало привлекательные условия для развития. Все это было бы невозможно также и без создания рынка потребления продукции микроэлектронного производства внутри страны. Здесь открываются очень хорошие перспективы. Микросхемы "Микрона" пойдут на единые социальные карты для россиян, на электронные паспорта, на миграционные документы. Они будут широко использоваться в платежно-банковской системе. Они будут использоваться и в водительских паспортах на автомобиль, что и удобно, и делает практически бессмысленным угон или торговлю нелегальными документами, а значит, снижает коррупцию. Чипы будут использоваться в приемниках системы Glonass/GPS и в отечественных приставках для ТВ при переходе его на цифровое вещание, конкурентоспособных по цене - а это возможно только при российском производстве таких приставок. По всем этим направлениям внутренний российский рынок потребления для продукции открытого сегодня производства огромен. Значительную часть этого рынка обеспечит госзаказ по всем перечисленным направлениям.


На новых кристаллах планируется выпускать SIM-карты для мобильных телефонов, электронные биопаспорта,. В дальнейшем на базе приобретенной технологии "Микрон" собирается разрабатывать собственные технологические решения и наращивать производство. Анонсирован выход в следующем году на топологию в 0,13 микрон, а в перспективе - довести показатели до границы в 0,065 микрон. Новая интегрированная производственная цепочка позволяет выпускать продукцию от микросхем до продукции для конечных потребителей:

  • Чипы на 200мм пластинах с производственной мощностью на первом этапе 18 тыс.пластин в год;
  • SIM-карты, идентификационные документы и электронные биопаспорта, банковские и социальные карты;
  • смарт-карт для транспортных приложений, в частности бесконтактные (RFID) транспортные билеты с производственной мощностью 300 млн.карт в год.

Генеральный директор "Микрона" Геннадий Красников сообщил, что на новой технологической линии помимо выпуска чипов планируется производство Foundry - контрактное производство микросхем, разработанных российскими fables компаниями:

- С 2006 года "Микрон" собрал вокруг себя 28 дизайн-центров по России и СНГ, уже заключивших договора на производство продукции собственной разработки. - рассказал Геннадий Красников. - У нас гибкий подход к распределению производства между фаундари и карточными микросхемами, и к наращиванию мощности производства. На сегодня основу выпускаемой продукции составят RFID-технологии для транспортных приложений и SIM-карты.


Президент ОАО "СИТРОНИКС" Сергей Асланян отметил, что коммерческая сторона проекта сегодня заключается и в подписании договора на 2,5 млрд.руб с Московским Метрополитеном на поставку транспортных карт в 2008 году. Он подчеркнул, что очень важно для "СИТРОНИКСА" и в будущем оставаться партнером государства в реализации высокотехнологичных проектов.

- "Микрон" активно участвует в процессе создания в России технологий микроэлектронного производства с топологией в 65 нанометров, идет процесс согласования условий участия в государственных структурах. Есть намерение государства и "Микрона" стать партнерами в этом проекте, более подробные сведения будут в начале 2008 года.

Гостей провели с экскурсией по цеху, где размещена новая технологическая линия - можно было воочию понаблюдать за процессом изготовления транспортных карточек от имплантации чипа до проклеивания электронного слоя-пленки между картонными "обложками" смарт-карты. Особое внимание приехавших вызвала недавно модернизированная "чистая комната" - зона с особо чистым микроклиматом и строжайшими требованиями к чистоте воздуха, температуре, влажности и давлению, необходимыми в микроэлектронном производстве. Почти фантастические промышленные интерьеры предстали перед гостями: просторные застекленные помещения с оборудованием самого выскотехнологичного уровня, с немногочисленными инженерами в белых и голубых "скафандрах", наблюдавшими за полностью автоматизированными микроскопическими процессами через компьютерные мониторы. Потолки "чистой комнаты" состоят практически из одних кондиционеров и фильтров, полы - в вентиляционных отверстиях. "Чистые комнаты" "Микрона" расположены на двух этажах, друг над другом, а в середине их устроено помещение еще более высокого уровня чистоты.



О новой технологии "Микрона" и о производстве в "чистой комнате" рассказал руководитель нового производства Сергей Ранчин:

- "Чистые комнаты" технологически связаны "чистым лифтом" и представляют собой единый технологический процесс. На 2м этаже размещена химия, диффузия, химия, осаждение, напыление, метрология, а внизу - фотолитография, ионная имплантация, плазмохимическое травление. Сделано это по нескольким причинам: второй этаж "чистой комнаты" встраивался в старое производство, чтобы сэкономить на инфраструктуре - очистке, например, которая уже здесь работала. А внизу расположено очень тяжелое оборудование с высокими требованиями по вибрации, которое нельзя было поднимать наверх. Ионный имплантатор, например, весит 18 тонн.

Площадь чистых помещений - 2,5тыс.кв.м, а инфраструктура к ней занимает еще 5 тыс.кв.м - это системы доочистки, вспомогательные помещения, фильтры, озонаторы, подготовка деионизированной воды и т.д. Много свободного места в "чистой комнате" - это площадь, заложенная для развития производства. Через год, например, мощность может быть увеличена в разы, и оборудования станет больше. При этом людей в производстве останется примерно столько же, или даже поменьше, потому что сейчас многие работают на запуске и инсталляции оборудования. Реально работать будет 15-30 человек. У нас достаточно уникальный коллектив, в который мы собрали специалистов не только по России; некоторые ребята поработали уже в Сингапуре, в Израиле, в Европе.

Оборудование, которое здесь стоит - абсолютно новое для России. Создание такого производства потянет за собой целую цепочку создания предприятий в смежных отраслях, например, по производству химреактивов - потому что очищать и производить в России намного дешевле, чем привозить из-за рубежа. Многие иностранные фирмы по обслуживанию такого производства уже готовятся открыть в России свои представительства, чтобы обслуживать только наш проект. Конечно, они заинтересованы, чтобы здесь открылось еще больше таких фабрик, и можно было бы открыть склады для хранения компонентов оборудования или даже производства каких-то мелких деталей оборудования.

Топологический размер в 0,18 микрон - это прорыв для России в целом. Прорыв как в технологии, в которой мы как будто прошли и сдали 4 класса экстерном: от кристаллов КМОП топологического уровня 0,80 микрон до чипов EEPROM в 0,18 микрон. Правда, экзамен у нас еще до конца не приняли, но думаю, все будет хорошо.



На вопрос Zelenograd.ru о конкуренции между "Микрон" и другим зеленоградским микроэлектронным предприятием - заводом "Ангстрем, который приобрел недавно похожую производственную линию от AMD - ответила начальник отдела маркетинговых коммуникаций и развития бизнеса Карина Абагян:

У "Ангстрема" совершенно другая стратегия. Мы купили лицензию на технологию у ST Microelectronics, но все оборудование закупали новое. "Ангстрем" же вместе с технологией перевозит к себе использованную линию с завода AMD, и еще только собирается ее инсталлировать и доводить. Мы уже открываем завод, а на "Ангстреме" еще предстоит модернизация "чистой комнаты". Купить и подключить оборудование - это отдельный сложный проект, но кроме этого нужна еще инфраструктура, чтобы обслуживать комнату и поддерживать особый чистый микроклимат, в 10000 раз чище чем операционная. И если "чистая комната" занимает 10 тыс.кв.м, то инфраструктура будет занимать 40 тыс.кв.м. Кроме того, "Ангстрем" лицензировал технологию КМОП, которая позволяет делать логические схемы. Мы лицензировали технологию EEPROM, которая содержит внутри себя КМОП, но еще и позволяет делать схемы с энергонезависимой памятью. В такой памяти, например, хранится информация на смарт-карте - без всякой подпитки. Маршрут этой технологии примерно на 10 фотолитографий длиннее, чем маршрут КМОП, и такой технологией обладают только 6 стран кроме России - США, Япония, Франция, Германия, Тайвань и Сингапур.

Это означает, что сферы применения разные будут у продукции "Микрона" и продукции "Ангстрема"?

Да. На рынке мы не конкуренты, будем работать в разных рыночных нишах. Более того, мы себе нишу уже создали, построив в 2006 году сборочные производства.


На совещании, прошедшем в тот же день с участием руководства "Микрон", "СИТРОНИКС" и Сергея Иванова и членов его аппарата, были рассмотрены предложения "Микрона" о мерах, необходимых для развития высокотехнологичной среды: активное внедрение электронного документооборота, быстрый переход на цифровое ТВ, грамотную таможенную политику с преференциями в пользу отечественного производителя.



17.12.2007