Сейчас оборудование, приобретённое в рамках реализации проекта 90 нм, уже смонтировано, идут пуско-наладочные работы, транзисторный цикл производства 90 нм уже запущен. В этом имел возможность убедиться корреспондент Zelenograd.ru в ходе вчерашней уникальной экскурсии в работающие «чистые» помещения (ЧП) «Микрона». В частности, на участке фотолитографии удалось увидеть работающий по 90 нм «степпер» — установку, на которой проводится важный этап фотолитографии — засветка фоторезиста через маску. Заглянуть в новые чистые помещения, построенные для размещения дополнительного оборудования по проекту 90 нм, не удалось — окна были занавешены, но они по меньшей мере существуют. Там будет проходить завершающая фаза процесса производства чипов — металлизация.

Сроки реализации проекта «90 нанометров» пока примерно соответствуют ранее заявленным планам: начало производства в декабре 2011 года, выход на проектную мощность в июле 2012.

Конечными продуктами проекта станут чипы навигационных систем ГЛОНАСС/GPS, промышленной электроники, а также чипы с расширенной функциональностью для биометрических паспортов и других персональных документов, банковских и социальных карт, SIM-карт и RFID-меток. Новые микросхемы будут обладать большей производительностью и объемом памяти, низким энергопотреблением.

В рамках проекта использована лицензия компании ST Microelectronics на технологический процесс изготовления интегральных схем с нормами 90 нм. Однако «Микрон» сильно продвинулся и в создании собственных технологий, заявил Геннадий Красников, который полгода назад покинул должность гендиректора ОАО «НИИМЭ и завод Микрон» и возглавил созданный ОАО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» (НИИМЭ), чтобы развивать направление R&D; заниматься и наукой, и коммерциализацией разработок.

Одной из разработок нового дизайн-центра, созданного на «Микроне», станет SIM-карта со встроенной электронно-цифровой подписью (ЭЦП). Реализация дополнительных функций в уже привычных SIM-картах как раз требует увеличения быстродействия, снижения энергопотребления, то есть перехода на меньший топологический размер — с нынешних 130 на 90 нанометров. Геннадий Красников пояснил, что речь идёт, к примеру, о применении технологии «низкопотребляемый КМОП».

При этом конкретного заказчика для SIM-карты с ЭЦП у «Микрона» нет. «Мы изучаем рынок и понимаем, что та же „симка“, в том же ценовом диапазоне, но с возможностью электронно-цифровой подписи будет востребована. — говорит Красников. — Чем дальше, тем больше телефоны будут играть роль удостоверения личности, ЭЦП. Через некоторое время это будет стандарт для пользователей мобильной связи».

«ЧП» на «Микроне»
		Контроль качества
Профилактика и наладка
Мойка для пластин
Технический этаж
За охрану труда!
Измерения
		Конец